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Identificación y compensación de errores de fase de demodulación para giroscopios MEMS sobre temperatura

2026-05-09

Identificación de errores de fase de alta precisión para giroscopios MEMS

Los giroscopios MEMS son sensores de velocidad angular clave en la navegación inercial, valorados por su bajo costo, pequeño tamaño y bajo consumo de energía.con un conductor electrostático y detección capacitivaSin embargo, su rendimiento se ve degradado por errores como la división de frecuencia, el acoplamiento de rigidez,y especialmente el error de fase de demodulación inducido por la temperatura, lo que empeora la producción de tasa cero (ZRO).

Un equipo de la Universidad de Beihang, la Universidad de Zhejiang y la Universidad de Ciencia y Tecnología de Nanjing propuso un método de identificación de errores de fase de alta precisión que no requiere instrumentos adicionales.Aplicando fuerzas electrostáticas a los electrodos de corrección de cuadratura, el error de fase de demodulación puede ser identificado en todo el rango de temperatura. Los experimentos confirmaron su consistencia y precisión.

El método, basado en la velocidad angular equivalente inducida por tensión cuadrada (QIR), se comparó con el enfoque de la velocidad equivalente inducida por Coriolis (CIR) utilizando cuatro giroscopios de cuatro masas (QMGs).Las pruebas a través de temperaturas mostraron que la compensación QIR produjo un menor ZRO y una mejor repetibilidad.

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